自动压强控制器 采用ZJ-10电离规和压电阀作为测量和控制元件,适用于真空焊接、度膜和气相沉积等工艺设备中的压强测量及自动控制。
技术指标: 测量及控制范围:13~1/10000Pa 压电阀漏气速度:≤1.3×10-9pa.m3/sec 压电阀最大流量:≥0.33pa.m3/sec 自动控制精度:±1.5% 自动记录信号输出:0-100mA 电源:AC220V±10% 50Hz BY-1/1K 配一个压电阀,HY-2/2K 配三个压电阀 BY-1/2为台式 HY-2/2K为开关板式 体积重量:119×320×280(mm)15kg板式;182×440×440(mm)15kg台式
SSK1/1K真空自动控制仪 本仪器适用于要求压强范围为20~1×10-4Pa的压强测量与压强恒定控制,采用两只ZJ-10电离规定管,工作时间可监测前级泵。
技术指标: 测量及控制范围:13~1×10-4Pa 压电阀漏气速度:≤2.6Pa.m3/sec 压电阀最大流量:≥1×10-8Pa.m3/sec 自动控制精度:±1.5%(满度) 配压电阀型号数量:YD-3D一支 型式:SSK-1型台式数字显示,SSK-1K型板式数字显示 电源:AC220V±10% 50Hz 体积重量:139×440×320(mm)10kg台式 |