首页 产品仓库 品牌专卖 产品导航 综合目录 专业产品 用户注册
该设备主要适用于半导体材料如硅片、陶瓷、玻璃等其它硬脆材料的高速高精度多片切割加工;主要适用于3"~6"硅片的高速高精度多片切割加工。
1、 该设备具有精密温度控制系统,切片精度高,翘曲度小,切片质量稳定,切割成本小的特点;2、 特殊的工作台设计,切割效率高,可满足不同切割加工工艺的要求;3、该设备采用微型计算机控制系统,具有同步自动控制运动功能,又具有手动控制功能。4、在自动切割模式下按启动键可完成自动绕线和对工件的自动切割;在准备模式下通过人机界面触摸屏菜单可单独完成对工件的切割;在以上模式下运行,设备运行过程中可对设备下一工作过程的有关参数进行调整。 5、张力控制采用闭环反馈控制方式,保证了切割过程中切割线张力的恒定。6、使用偏差传感器控制切割线的偏差,确保在切割时切割线的偏差恒定。7、切割结束后自动清洗工件。技术指标
工件最大尺寸(宽×高×长):
150mm×150mm×400mm(两根)
卷线宽度
φ145±10×400×3轴
轴间距离
500mm
旋转速度
最大13000rpm
供线次数
1
直径
φ0.08mm~φ0.18mm
供线轮绕线能力
30kg×1(1卷线全长190000mφ0.16mm)(1卷线全长487000mφ0.10mm)
张力
20.0N 40.0N(最小设置单位:0.1N)
割线往复走行速度
平均400m/min(最大500mm)
往复循环次数
最大15次/min
升降行程
最大220mm
切削速度
0.1到999.9mm
快速移动速度
300mm/min
水平旋转角度
0到±5°(微调工作台)
垂直旋转角度
0到±2°(微调工作台)
切入量的控制
通过切割线偏差传感器
砂桶容量
150L 供砂量:最大180L/min(兼用搅拌)泵流量:最大80L/min