产品介绍：

SDY-4四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器。
仪器以大规模集成电路为核心部件,应用模拟和数字控制技术,配备微型电动升降测试台：采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示。整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。
本仪器适用于测量半导体晶片电阻率，以及扩散层材料、离子注入层、异型外延层的方块电阻。也可测量在玻璃等绝缘材料上形成的器件的导电薄膜方块电阻。

产品特点：

TZT-9D型四探针探头探针间距1mm针距，针尖材料：碳化钨锇合金。针尖曲率半径：40±5μm。探针压力：5至8牛顿(总压力，此范围内可调)。探针机械游移率：小于0.3%。探针伸出长度2+0.5mm。针尖锥体夹角60度。针间绝缘电阻：大于109ΩTZT-9D型四探针探头采用环氧精浇注(带红宝石轴套),以保证精确的针距.同时适用复合材料作探针,从而提高探针头的使用寿命.它具有绝缘性能好、测试数据可靠，使用寿命长等特点。它的所有技术指标符合国家标准，同时符合美国ASTM标准的有关规定。用于测薄片
1.测试数据自动保持(当该功能选择有效时)。
2.无样品数据自动显示为零(当该功能选择有效时)。
3.无外负载式电流调整。
4.恒流源电路正常自动显扎示。
5.电动测试台多种操作方法选择。

1  测量范围：电阻率：0.001-200?.cm(可扩展)。 方块电阻：0.01-2000?/口(可扩展)。
2  可测晶片直径(最大)：100mm/150mm。
3 恒流源：电流量程分为0.1、1、10、100(mA)四档,各档电流连续可调。误差<±0.3%
4  数字电压表：量程：0-199.99mV。 分辨率：10μV。显示：四位半红色发光管数字显示。极性、小数点、超量程自动显示。输入阻抗>1000M?。 精度：±0.1%.
5  最大电阻测量误差(按JJG508-87进行)：0.1?、1?、10?、100?小于等于0.3%±1字.
6  四探针探头：间距：1±0.01mm。针间绝缘电阻≥1000M?。机械游移率：≤0.3%
探针压力：TZT-9C/9D  5-8 牛顿(总力)
7  整机不确定度：(用硅标样片测试)≤5%  (0.01-180?.cm)
8  外形尺寸：电气主机：360×320×100mm；测试台：260×154×250mm
9  数据处理器：300×210×105mm
10 仪器重量：电气主机：约4kg；测试台：约10kg
11 测试环境：温度23±2℃；相对湿度≤65％；无高频干扰；无强光照射。