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产品介绍: 半导体工厂用 产品特点: 适合于检测半导体特气的微量泄漏。 采用声光报警。
型号:XP-703D检测对象气体:半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)检测原理:热线型半导体式 采样方式:自动吸引式可检测浓度(单位:ppm): 砷烷 AsH3 0.2;磷烷PH3 0.3;乙硼烷 B2H6 0.1; 硅烷 SiH4 0.5; 氢气 H2 1.0检测表示: 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁应答速度: 10秒以内